亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 火法冶金技術(shù)

> 磁控濺射用復(fù)合靶材的設(shè)計(jì)方法

磁控濺射用復(fù)合靶材的設(shè)計(jì)方法

845   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:33:13
本發(fā)明公開(kāi)了一種磁控濺射用復(fù)合靶材的設(shè)計(jì)方法,涉及磁控濺射技術(shù)及無(wú)機(jī)化合物功能薄膜制備技術(shù)領(lǐng)域。其是由切割成5°、10°、30°、60°的扇形段的各組元單質(zhì)薄板靶材,按照一定角度比例均勻交替拼接構(gòu)成的復(fù)合靶材,其組元成分比例均勻、穩(wěn)定、易于變更。通過(guò)調(diào)節(jié)各組元的扇形段角度就可以調(diào)整復(fù)合靶材的成分,從而調(diào)節(jié)化合物薄膜的化學(xué)計(jì)量比,且濺射得到的化合物薄膜成分均勻。本發(fā)明特別適用于如赫斯勒及半赫斯勒化合物等具有脆性、及由于組元熔點(diǎn)差異較大或部分組元成分易于偏析而難以制成符合化學(xué)計(jì)量比的化合物靶材的薄膜制備,是一種不需要使用多靶材共濺射法、但能取得共濺射生長(zhǎng)化合物薄膜或復(fù)合薄膜效果的新型復(fù)合靶材設(shè)計(jì)方法。
聲明:
“磁控濺射用復(fù)合靶材的設(shè)計(jì)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
火法冶金
全國(guó)熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開(kāi)更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記