本實用新型提供一種基于抗過載結(jié)構(gòu)的防異物防破損壓力傳感器,它包括敏感膜以及位于所述敏感膜上的應(yīng)變電阻和電極,所述電極連接所述應(yīng)變電阻的輸出端,以傳輸檢測信號,還包括位于所述敏感膜下方的硅襯底,以及位于所述敏感膜上方的保護蓋;所述硅襯底開設(shè)凹槽,所述凹槽底部設(shè)置有第一防粘連結(jié)構(gòu);所述保護蓋均勻開設(shè)若干第一進氣孔,用于防止所述敏感膜局部形變異常。本實用新型通過增設(shè)第一防粘連結(jié)構(gòu)和第二防粘連結(jié)構(gòu),形成雙臂防粘連結(jié)構(gòu),有效防止壓力傳感器敏感膜因超高過載導(dǎo)致的損壞、破裂、過度形變等失效;所述保護蓋均勻布設(shè)的第一進氣孔能夠調(diào)節(jié)氣流走向,使之均勻進入檢測腔體內(nèi),保證敏感膜的形變均勻性和受力平衡。
聲明:
“基于抗過載結(jié)構(gòu)的防異物防破損壓力傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)