本發(fā)明公開了一種多功能樣品臺(tái),包括:樣品臺(tái)本體,其中,所述樣品臺(tái)本體采用非磁性材料或者非導(dǎo)體材料制成,所述樣品臺(tái)本體為半圓柱形且所述半圓柱形樣品臺(tái)本體的切面上開設(shè)有至少一個(gè)窗口。本發(fā)明的多功能樣品臺(tái)可以應(yīng)用于現(xiàn)有的FIB和TEM系統(tǒng)中,同時(shí)還可以實(shí)現(xiàn)樣品的原子位FIB剝層,納米探針電測(cè)試和TEM分析三步失效分析工藝的有效集成。即在整個(gè)失效分析的流程中,不需要樣品轉(zhuǎn)移,因此,本發(fā)明的多功能樣品臺(tái)可以提高整個(gè)失效分析流程的成功率和效率,避免和減少樣品在失效分析工作中的破損,丟失和污染。
聲明:
“多功能樣品臺(tái)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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