本發(fā)明一種晶圓測試結(jié)果加嚴(yán)修正篩選方法,使用Map工具軟件,定義邊緣失效
芯片、連續(xù)失效芯片、孤立有效芯片的特征識別算法模型,并基于邊緣失效芯片、連續(xù)失效芯片、孤立有效芯片所在區(qū)域的圖形識別,可對該區(qū)域通過晶圓測試的有效芯片進(jìn)行修正,從而將連續(xù)失效芯片區(qū)域邊界上的晶圓測試結(jié)果進(jìn)行加嚴(yán)修正后轉(zhuǎn)置輸出,使得晶圓測試結(jié)果與工藝關(guān)聯(lián),并將潛在失效芯片過濾,從而提高識別失效芯片的效率和芯片產(chǎn)品輸出的整體可靠性。
聲明:
“晶圓測試結(jié)果加嚴(yán)修正篩選方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)