本發(fā)明提供一種適用于TDDB的原位熱點偵測方法,包括:提供待測樣品,對所述待測樣品的電性參數(shù)進(jìn)行驗證;定義應(yīng)力條件及偵測熱點的初始應(yīng)力條件;對所述待測樣品施加應(yīng)力;觀測中間數(shù)據(jù),若所述待測樣品達(dá)到偵測熱點的初始應(yīng)力條件,施加熱點偵測電壓偵測熱點;若偵測到熱點,則進(jìn)行失效分析或繼續(xù)TDDB測試。本發(fā)明中,實現(xiàn)了原位對失效樣品熱點的偵測,及時精準(zhǔn)的反應(yīng)了樣品的失效位置,為進(jìn)一步失效分析提供了有力保障。
聲明:
“適用于TDDB的原位偵測熱點方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)