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GaN基半導體激光芯片檢測裝置與方法

752 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 09:00:01

本發(fā)明實施例提供了一種GaN基半導體激光芯片檢測裝置及方法，所述裝置包括：芯片裝載模塊、電源模塊、顯微成像模塊和激光打標模塊；通過電源模塊為待檢測芯片施加一定的電流使待檢測芯片從p面和前腔面分別發(fā)出兩束熒光，顯微成像模塊接收這兩束熒光后對待檢測芯片的p面和前腔面進行熒光成像，并判斷待檢測芯片的有源區(qū)是否存在失效區(qū)域、前腔面是否有災變性光學損傷點，最后再通過激光打標模塊對待檢測芯片的有源區(qū)的失效區(qū)域正上方的p面進行打標以便后續(xù)處理。所述裝置結構簡單，且能夠?qū)崿F(xiàn)對待檢測芯片的有源區(qū)的失效區(qū)域的正上方的p面區(qū)域打標，以此來定位失效區(qū)域在有源區(qū)中的位置，功能更加豐富，具有更好的實用價值。

聲明：

“GaN基半導體激光芯片檢測裝置與方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)