本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)的分析方法、平臺(tái)、電子設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)，分析方法包括：獲取多個(gè)批次的晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)；根據(jù)目錄分類信息區(qū)分晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)，記錄區(qū)分后的晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)存儲(chǔ)路徑，并進(jìn)行目錄分類歸檔；根據(jù)目標(biāo)目錄分類信息，從目錄中索引相應(yīng)晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)路徑，提取晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)，并按照目標(biāo)參數(shù)將晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)合并成目標(biāo)數(shù)據(jù)集；對(duì)目標(biāo)數(shù)據(jù)集，進(jìn)行視圖構(gòu)建及視圖分析，和/或進(jìn)行數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析；本申請(qǐng)實(shí)現(xiàn)了晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)的快速提取、分類、整合、分析，可提供有效的信息進(jìn)行失效分析，改善設(shè)計(jì)和制造良率；利用目錄索引晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)文件路徑的方式作為數(shù)據(jù)整合的基礎(chǔ)，可有效提高數(shù)據(jù)整合、分析效率，并減少計(jì)算、運(yùn)行負(fù)荷。