一種互連結(jié)構(gòu)失效分析樣品的制作方法,包括:對樣品橫截面進(jìn)行物理濺射工藝;通過電子顯微鏡對所述樣品進(jìn)行測試。本發(fā)明有利于失效分析對工藝參數(shù)的準(zhǔn)確表征。
聲明:
“互連結(jié)構(gòu)失效分析樣品的制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)