公開了一種失效分析裝置,包括:置物臺,用于固定待檢測
芯片;測試臺,包括光源,用于對所述待檢測芯片進行抓點測試,其中,所述光源產生紅外脈沖激光,所述紅外脈沖激光能穿透所述待檢測芯片的襯底。本申請的失效分析裝置,采用能穿透所述待檢測芯片的襯底的紅外脈沖激光作為光源,提高了正面和背面抓點的準確性,同時提高了存儲層的失效點定位的準確性。
聲明:
“失效分析裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)