本發(fā)明實(shí)施例提供了一種流體動(dòng)壓拋光方法及裝置。所述裝置包括氣囊拋光工具、精密測(cè)力臺(tái)、精密位移臺(tái)以及拋光液供給系統(tǒng)。所述氣囊拋光工具使用前需經(jīng)過(guò)精密修整；精密測(cè)力臺(tái)與精密位移臺(tái)配合實(shí)現(xiàn)氣囊拋光工具與工件間的間隙精密控制；拋光時(shí)，拋光液注入拋光墊與工件的間隙后，氣囊拋光工具高速旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)拋光液在氣囊與工件間產(chǎn)生流體動(dòng)壓，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)間隙中的拋光顆粒以一定速度和壓力對(duì)工件表面進(jìn)行去除。本發(fā)明實(shí)施例提出的流體動(dòng)壓拋光方法及裝置可實(shí)現(xiàn)通過(guò)控制工藝參數(shù)(如間隙、轉(zhuǎn)速、拋光顆粒大小)改變材料去除量，以滿足工件不同工藝目的下的效率需求。所述裝置在超精密光學(xué)元件上實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度的無(wú)損傷加工方面具有重要的應(yīng)用前景。