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連接探針、其制備方法及在微電極陣列連接中的用途

926 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:59:22

本發(fā)明公開了一種連接探針、其制備方法及在微電極陣列連接中的用途。屬于微電極陣列技術領域。本發(fā)明的連接探針包括基底以及位于所述基底上且間隔設置的陣列單元，所述陣列單元包括由下到上的金屬種子層和金屬鍍層。本發(fā)明利用傳統(tǒng)的MEMS工藝，創(chuàng)新設計，解決了高密度微電極陣列難以進行電學測試和可靠性測試，或在進行測試過程中會損傷微電極陣列的問題。利用MEMS加工制備精度高，微型化等特點，可制備用于高密度柔性微電極測試的探針，可達到無損測試效果，而且，本發(fā)明的連接探針使用可逆，測試完成后取下可重復使用。

聲明：

“連接探針、其制備方法及在微電極陣列連接中的用途” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)