本發(fā)明涉及一種太赫茲傳感器，更具體的說，本發(fā)明涉及一種基于光波導(dǎo)的石墨烯太赫茲傳感器:包括底柵極和低阻硅襯底以及設(shè)置于襯底上的下絕緣層、石墨烯納米帶陣列、源漏電極、上絕緣層、頂柵極、光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)、入射耦合光柵、出射耦合光柵和驅(qū)動(dòng)電路；利用石墨烯材料具有高載流子遷移率、電子無散射傳輸、能隙可調(diào)的光電特性，采用石墨烯納米帶和p-i-n光電探測結(jié)構(gòu)；利用光波導(dǎo)收集、傳輸、匯聚光的特性，設(shè)計(jì)了大面積光波導(dǎo)和石墨烯納米帶陣列的復(fù)合結(jié)構(gòu)。本發(fā)明太赫茲傳感器具有光能利用率高、靈敏度高、響應(yīng)快、可在室溫下工作、結(jié)構(gòu)簡單、便于集成、體積小的優(yōu)點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于安檢、緝毒、反恐、醫(yī)學(xué)成像、無損檢測、電子對抗、雷達(dá)、遙感、外層空間寬帶通信等領(lǐng)域。