本申請公開了一種應(yīng)用拉曼光譜儀測試?yán)w鋅礦結(jié)構(gòu)單晶晶向的方法及系統(tǒng)。所述方法包括:提供拉曼光譜儀;使所述拉曼光譜儀光源射出的光線聚焦后作為入射光照射到纖鋅礦結(jié)構(gòu)單晶樣品上,且所述入射光與散射光的偏振方向平行;在不改變所述入射光和散射光偏振方向的情況下,使所述樣品繞一旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn),同時采集所述樣品的拉曼圖譜,所述旋轉(zhuǎn)軸選自與所述樣品的m軸、a軸、c軸相同或平行的軸線;依據(jù)所采集樣品的拉曼圖譜中的信號峰,確定相應(yīng)的樣品單晶晶向。藉由本申請的方法,可以實現(xiàn)對纖鋅礦結(jié)構(gòu)單晶(例如AlN單晶、GaN單晶等)晶向進行高空間分辨率的準(zhǔn)確測試,且操作簡單便捷,對樣品無損傷,亦無需復(fù)雜設(shè)備和制樣工作,成本低廉。
聲明:
“應(yīng)用拉曼光譜儀測試?yán)w鋅礦結(jié)構(gòu)單晶晶向的方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)