本發(fā)明提供一種晶圓表面金屬膜厚度測(cè)量方法，其包括如下步驟：獲得常數(shù)參數(shù)：在晶圓表面的兩個(gè)預(yù)設(shè)點(diǎn)處，獲得聲波在晶圓表面金屬膜內(nèi)傳播的時(shí)間差；獲得所述兩個(gè)預(yù)設(shè)點(diǎn)處的表面高度差；將所述高度差及所述時(shí)間差的比值作為所述常數(shù)參數(shù)；晶圓表面金屬膜厚度測(cè)量：在晶圓表面的測(cè)量點(diǎn)處，獲得聲波在晶圓表面金屬膜內(nèi)傳播的時(shí)間，以所述時(shí)間與所述常數(shù)參數(shù)的乘積作為所述測(cè)量點(diǎn)處的金屬膜厚度。本發(fā)明測(cè)量方法能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)晶圓表面金屬膜的厚度，且測(cè)量準(zhǔn)確度高，大大提高了產(chǎn)能，節(jié)約了成本；并且，無(wú)需破壞晶圓即可獲得兩個(gè)預(yù)設(shè)點(diǎn)處的表面高度差，避免晶圓被破壞，提供了一種無(wú)損測(cè)量方法。