本發(fā)明涉及一種高精度非接觸三維面型測量裝置。該裝置包括激光測量傳感器、X向、Y向和Z向運(yùn)動單元等。本發(fā)明提供了高精度非接觸測量裝置和測量方法,可對硬質(zhì)材料、軟質(zhì)材料和鏡面材料的表面面型等進(jìn)行高精度快速動態(tài)無損傷測量,獲得面型、尺寸、表面狀態(tài)等數(shù)據(jù)。
聲明:
“高精度非接觸三維面型測量裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)