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基于光學相干層析的全深式曲面輪廓測量裝置及控制方法

730 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:58:31

本發(fā)明涉及一種基于光學相干層析的全深式曲面輪廓測量裝置，包括：SLD光源、凸透鏡、第一柱透鏡、第一分光鏡、參考鏡、待測曲面輪廓件、第二柱透鏡、反射鏡、反射式光柵、柱透鏡和面陣CCD相機；所述SLD光源發(fā)出的點光源經(jīng)過凸透鏡準直為平行光束；該平行光束通過第一柱透鏡聚焦為焦線光束，第一分光鏡將焦線光束分為強度相等的兩束光線，一束為參考光匯聚于參考鏡，一束為探測光匯聚于待測曲面輪廓件；兩束光線經(jīng)反射后重合發(fā)生干涉，干涉光束經(jīng)反射式光柵按波長在空間分光后由柱透鏡匯聚成干涉譜線，由面CCD相機采集獲得二維干涉光譜條紋。本發(fā)明可以實現(xiàn)對曲面輪廓的高精度、非接觸、無損傷的精密檢測。

聲明：

“基于光學相干層析的全深式曲面輪廓測量裝置及控制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)