本發(fā)明提供一種晶圓片的壽命測(cè)試方法,步驟包括:氧化,至少在晶圓片的一個(gè)表面上形成一層氧化膜;鈍化,在具有所述氧化膜的其中一個(gè)所述晶圓片表面上進(jìn)行電荷沉積;測(cè)試,再對(duì)鈍化后的所述晶圓片表面進(jìn)行壽命測(cè)試。本發(fā)明測(cè)試方法為無(wú)損檢測(cè),無(wú)需對(duì)晶圓片進(jìn)行化學(xué)鈍化,即可對(duì)晶圓片體內(nèi)載流子壽命進(jìn)行檢測(cè),測(cè)試結(jié)果準(zhǔn)確且測(cè)試效率高,測(cè)試完成后可以繼續(xù)對(duì)晶圓片進(jìn)行其他理化性質(zhì)方面的檢測(cè)及測(cè)試,提高晶圓片的利用率,節(jié)約成本。
聲明:
“晶圓片的壽命測(cè)試方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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