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基于微波探測技術的半導體亞表面信息測試系統(tǒng)

917 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:58:23

本發(fā)明公開了一種基于微波探測技術的半導體亞表面信息測試系統(tǒng)，屬于微波探測技術領域，為亞表面信息的無損檢測提供了一種新的方法。本系統(tǒng)主要包含三個模塊：樣品檢測模塊、信號收發(fā)模塊、控制模塊。首先通過信號收發(fā)模塊產(chǎn)生一設定頻率的微波信號，并將該微波信號輸入到樣品檢測模塊當中，樣品檢測模塊將該信號通過探針輻射向待測樣品，由于微波具有穿透性，因此該微波信號可以穿過樣品表面輻射入樣品內(nèi)部進行無損探測，最終的信號將重新回到信號收發(fā)模塊中進行顯示及分析，從而得出進一步的結論。本發(fā)明采用了微波探測手段實現(xiàn)了無損探測，并通過樣品檢測模塊的分級步進實現(xiàn)了更大范圍的探測。

聲明：

“基于微波探測技術的半導體亞表面信息測試系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)