本發(fā)明涉及一種基于太赫茲時(shí)域光譜的軸套自潤(rùn)滑涂層厚度檢測(cè)方法，包括以下步驟：S1、采用反射式太赫茲時(shí)域光譜系統(tǒng)，利用空氣?金屬鏡的反射信號(hào)作為參考信號(hào)，利用空氣?樣品涂層的反射信號(hào)作為樣品信號(hào)，對(duì)兩個(gè)信號(hào)作傅里葉變換得到二者的頻域信號(hào)，由此得到參考信號(hào)和樣品信號(hào)的相位變化和反射率，進(jìn)而計(jì)算樣品涂層的折射率；S2、建立太赫茲波在多介質(zhì)層的軸套自潤(rùn)滑涂層內(nèi)部傳播的物理模型；S3、通過(guò)反射式太赫茲時(shí)域光譜系統(tǒng)，獲得樣品的反射時(shí)域信號(hào)，從而獲得樣品時(shí)域信號(hào)中反射峰之間的延遲時(shí)間；結(jié)合步驟S1獲得的樣品涂層的折射率以及步驟S2建立的物理模型，計(jì)算樣品涂層的厚度。該方法有利于對(duì)軸套自潤(rùn)滑涂層厚度進(jìn)行高精度無(wú)損檢測(cè)。