本實用新型公開了一種用于
芯片檢測的雙點激光顯微檢測裝置,屬于光學工程/無損檢測領(lǐng)域。包括雙路激光模組、轉(zhuǎn)接環(huán)、光學合路單元、紅外CCD、照明光源、顯微鏡、可調(diào)節(jié)支架、樣品臺、旋轉(zhuǎn)臺、X?Y位移臺和基座等。雙路激光模組由兩臺激光器組合而成,激光模組通過轉(zhuǎn)接環(huán)與光學合路單元鏈接并固定,模組中的兩路激光通過光學合路單元的整形、偏轉(zhuǎn)和合束后進入顯微鏡;顯微鏡和光學合路單元通過可調(diào)節(jié)固定支架組合,紅外CCD和照明光源分別與光學合路單元、顯微鏡連接,以提供所述裝置的顯微成像和照明功能;該實用新型通過實現(xiàn)雙路激光的整形、偏轉(zhuǎn)和調(diào)節(jié),可進行芯片等微結(jié)構(gòu)微器件的快速掃描、精確檢測。
聲明:
“用于芯片檢測的雙點激光顯微檢測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)