本發(fā)明提供一種用于光伏行業(yè)脆性材料熱應(yīng)力無損劃片的工藝方法，涉及光伏材料技術(shù)領(lǐng)域。包括以下步驟：S1、準(zhǔn)備一號(hào)開槽激光、二號(hào)加熱激光以及噴霧設(shè)備；S2、取電池片采用平臺(tái)真空吸附，將電池片平整均勻的吸附在平臺(tái)上，并對(duì)電池片定位及外觀檢測(cè)；S3、在電池片頭部激光標(biāo)刻出頭部引導(dǎo)槽標(biāo)線，并且在電池片尾部激光標(biāo)刻出尾部引導(dǎo)槽標(biāo)線；S4、一號(hào)開槽激光通過標(biāo)刻的頭部引導(dǎo)槽標(biāo)線與尾部引導(dǎo)槽標(biāo)線對(duì)電池片頭部和尾部開槽，電池片上形成頭部引導(dǎo)槽以及尾部引導(dǎo)槽。本發(fā)明，采用激光開槽建立引導(dǎo)區(qū)，控制熱應(yīng)力在電池片開頭和結(jié)尾的熱應(yīng)力釋放方向，采用加熱激光及噴霧冷卻的方式實(shí)現(xiàn)熱應(yīng)力的形成，達(dá)到自然裂開的目的。