落 地 式 ContourX-1000 白 光 干 涉(WLI) 系 統(tǒng) 集 成 了Bruker 在 硬 件 和 軟 件 上 的 新 技 術(shù)， 可 用 于 全 自 動(dòng) 三維表面紋理和粗糙度測量。

全新的一鍵式高級尋找表面(Advanced Find Surface )功能結(jié)合自動(dòng)聚焦和自動(dòng)照明功能，無需每次測量前手動(dòng)查找樣品表面，極大提升了用戶體驗(yàn)且縮短測量時(shí)間。結(jié)合自適應(yīng)測量模式 USI 和簡潔的引導(dǎo)式VisionXpress操作界面，ContourX-1000 在任何表面，任何操作人員，甚至多用戶高負(fù)荷的生產(chǎn)設(shè)備下都可提供不打折扣的精確測量。

特點(diǎn)：

·可傾斜 / 俯仰光學(xué)頭、雙光源和先進(jìn)的自動(dòng)化功能可提供快速、靈活的生產(chǎn)車間內(nèi)測量。

·自校準(zhǔn)激光和集成的防震臺可確保測量準(zhǔn)確性和可靠性。

·提供的測量和分析軟件帶有簡潔且有引導(dǎo)性的程序和模式，更大程度的方便用戶使用。

光學(xué)輪廓分析設(shè)備硬件設(shè)計(jì)

ContourX-1000 集成有 Bruker 的傾斜 / 俯仰光學(xué)頭，*的雙光源、自動(dòng)化的物鏡轉(zhuǎn)盤和樣品臺，以及可選配的晶圓卡盤。這些創(chuàng)新可為幾乎所有的在研發(fā)和生產(chǎn)中的應(yīng)用提供快速且解決方案，包括有難度的表面和深溝槽結(jié)構(gòu)。

強(qiáng)大的自動(dòng)化測量和分析

全局掃描干涉 (USI) 自適應(yīng)測量模式可自動(dòng)確定測量參數(shù)，即使在幾十微米尺度內(nèi)也可確保納米級分辨率。

簡潔的且?guī)в幸龑?dǎo)性的 VisionXpress交互界面可去除操作人員經(jīng)驗(yàn)水平的影響，快速得到佳測試結(jié)果。

即使在多用戶環(huán)境中，每個(gè)使用者都可通過高級查找表面功能，自動(dòng)聚焦功能和自動(dòng)照明調(diào)整功能獲取高 質(zhì) 量 的 結(jié) 果。 使 用 全 套 兼 容 的軟件包，從SureVison和多區(qū)域分析 到 Vision64 Map 和 膜 測 量，ContourX-1000 都 可 提 供 的測量來滿足您特定的應(yīng)用需求。

測量準(zhǔn)確性與魯棒性的基準(zhǔn)

除 擁 有 Bruker 干 涉 技 術(shù) 測 量 和 成 像 能 力 之 外，ContourX-1000 還 配 備 了 專 屬 的 內(nèi)部參考激光和防震臺以獲取大的穩(wěn)定性和與其他工具的匹配能力。

即使在嘈雜的環(huán)境中，該系統(tǒng)也能確保測量性能。