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微納光柵表面粗糙度的無損檢測方法

990 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 08:57:55

本發(fā)明公開了一種微納光柵表面粗糙度的無損檢測方法，包括如下步驟：用去離子水、無水乙醇和異丙醇對微納光柵進行超聲清洗，氮氣吹干將三甲基氯硅烷滴到表面皿中，與微納光柵一同置于真空干燥環(huán)境下，使三甲基氯硅烷充分鈍化微納光柵的表面；將固化劑加入聚二甲基硅氧烷中，混合均勻，消泡，得到PDMS混合物；將PDMS混合物倒在表面皿中，再將微納光柵置于PDMS混合物表面，將附著PDMS混合物的微納光柵置于真空干燥環(huán)境中脫氣、固化，得到凝固仍帶有微納光柵的硅膠膜；將該硅膠膜與微納光柵進行脫模，用硅膠模進行粗糙度測試。本發(fā)明可實現(xiàn)對微納光柵表面難以測量的側壁、槽底、深孔等復雜結構進行采集和復制，為復雜的微納結構表面粗糙度測試提供了新思路。

聲明：

“微納光柵表面粗糙度的無損檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)