本發(fā)明提供了一種光柵無損檢測(cè)方法及系統(tǒng),方法包括:獲取樣品光柵圖像;對(duì)樣品光柵圖像進(jìn)行背景校正,獲得樣品光柵透射圖;對(duì)樣品光柵透射圖提取樣本區(qū)域進(jìn)行分析,獲得樣品光柵透射圖的像素灰度平均值;根據(jù)樣本區(qū)域以及像素灰度平均值判斷樣品光柵的均勻性;采用Sobel算子對(duì)樣品光柵透射圖進(jìn)行缺陷提??;將均勻性結(jié)果信息和缺陷信息進(jìn)行顯示;該方法通過對(duì)樣品光柵透射圖采樣,計(jì)算樣本區(qū)域的相對(duì)誤差、方差,提取直方圖,從而對(duì)樣品光柵的均勻性進(jìn)行判斷,根據(jù)光柵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn),利用Sobel算子消除垂直方向的條紋,從而查找出非垂直方向輪廓的缺陷,方法簡單,可靠性高,無需破壞光柵即可檢測(cè)出樣品光柵的均勻性,為樣品光柵是否能投入使用提供依據(jù)。
聲明:
“光柵無損檢測(cè)方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)