一種光柵表面質(zhì)量無損檢測方法和裝置,其核心主要是采用平行光照明待測光柵時,在該光柵的整數(shù)泰伯距處形成光柵的泰伯像,然后用納米光纖探針掃描該泰伯像,并將探測的光信號轉(zhuǎn)變成電信號,再由計算機進行數(shù)據(jù)處理,即可獲得該光柵的周期、均勻性、直線度和整體均勻性等參數(shù),本發(fā)明的方法將會成為高密度光柵表面質(zhì)量檢測的一種有用新方法,具有重要的學(xué)術(shù)價值和應(yīng)用前景。
聲明:
“光柵表面質(zhì)量無損檢測方法和裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)