本發(fā)明公開了一種全息凹面閃耀光柵的母板及其制備方法,制作步驟如下:(1)制備全息凹面光柵掩模;(2)在全息凹面光柵掩模上沉積金屬層;(3)在所述金屬層上涂布粘合劑;(4)將與凸模連接的金屬層和所述全息凹面光柵掩模分離,清洗,獲得凸面金屬光柵掩模;(5)測量所述凸面金屬光柵掩模的柵齒結(jié)構(gòu),獲得柵齒占空比信息;采用電鑄或鍍膜的方式以及化學(xué)腐蝕或離子刻蝕的方式調(diào)節(jié)柵齒的占空比;(6)采用離子束刻蝕凸面金屬光柵掩模,使凸面金屬光柵掩模轉(zhuǎn)變成三角形閃耀結(jié)構(gòu),得到全息凹面閃耀光柵的母板。本發(fā)明將凹面光柵掩模結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到凸面金屬層上,金屬層柔韌性好,光柵槽型結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移精度高,不易開裂變形,耐用性好。
聲明:
“全息凹面閃耀光柵的母板及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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