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用于硬質(zhì)合金旋轉(zhuǎn)銼表面制備TiAlSiN涂層的方法

1048   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:56:56
本發(fā)明公開了一種用于硬質(zhì)合金旋轉(zhuǎn)銼表面制備TiAlSiN涂層的方法,將硬質(zhì)合金制成的旋轉(zhuǎn)銼預處理后放入電弧離子鍍膜設備中的轉(zhuǎn)架桿上,以TiAlSi合金靶作為涂層中Ti、Al、Si元素來源,通過電弧電源的電流控制靶的濺射率;采用Ti靶作為制備底層和過渡層的Ti元素來源,采用高純Ar作為主要離化氣體,采用高純N2作為反應氣體,使其離化并與Ti、Al、Si元素結(jié)合,在旋轉(zhuǎn)銼表面沉積形成TiAlSiN涂層。該TiAlSiN涂層為三層結(jié)構(gòu),即Ti/TiN/TiAlSiN,涂層總厚度為3.0微米,化學成分含量為Ti:20at.%,Al:30at.%,Si:8at.%,N:42at.%。涂層硬度42GPa,在室溫干摩擦和對副為GCr15條件下,銷盤實驗測出的TiAlSiN涂層的摩擦系數(shù)為0.65,結(jié)合力為HF1級,具有很好的結(jié)合力和耐磨損性能。
聲明:
“用于硬質(zhì)合金旋轉(zhuǎn)銼表面制備TiAlSiN涂層的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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