本發(fā)明涉及一種離子束刻蝕制作電鏡流體微元控溫
芯片的方法及產(chǎn)品,所述電鏡流體微元控溫芯片包括上片和下片,上片和下片均為正反面都設(shè)有絕緣層的硅基片,上片的正面與下片的正面通過粘結(jié)層固定粘結(jié),上片、下片和粘結(jié)層共同構(gòu)成一腔室;上片上設(shè)有第一視窗,下片上設(shè)有加熱電極、進(jìn)液口、出液口、加熱絲和第二視窗,加熱絲位于第二視窗內(nèi);本發(fā)明提供的電鏡流體微元控溫芯片可在第二視窗內(nèi)直接觀察到加熱絲形貌,可用于流體局部溫度變化的測量和對流體微元的反饋控溫,便于使用者更好地了解微米納米流體溶液中局部位置的熱反應(yīng)過程,流體微元間的相互作用以及微元部分溫度變化對化學(xué)反應(yīng)的影響。
聲明:
“電鏡流體微元控溫芯片及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)