公開了一種磁阻傳感器(30)和一種用
電化學淀積來生產(chǎn)磁阻傳感器(30)的方法。用導電涂層(12)涂敷絕緣基底(11),以準備電化學淀積、電鍍用的絕緣基底。導電涂層(112)稍后被圖形化,以防止金屬區(qū)短路。用金屬層(131)和磁性合金對導電涂層進行電鍍。對此層進行腐蝕以形成4個被互連成惠斯登電橋(473)結構的分隔開的區(qū)域,以便形成能夠探測外加磁場(100)變化的傳感器。在某些實施例中,為了提高傳感器的靈敏度,各個磁性層被非磁性層(114)分隔開。在其它的實施例中,增加了磁極片元件,以便將磁場聚焦到4個區(qū)域中的二個上。
聲明:
“磁阻器件、巨磁阻器件及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)