本發(fā)明公開了一種制作工藝系統(tǒng)與清洗方法。制作工藝系統(tǒng)包括生產(chǎn)機(jī)臺(tái)、濃度測(cè)定裝置以及補(bǔ)償裝置;生產(chǎn)機(jī)臺(tái),適于使用化學(xué)溶液處理晶圓;濃度測(cè)定裝置,用以測(cè)定處理過(guò)上述晶圓的上述化學(xué)溶液中至少一關(guān)鍵成分的濃度;補(bǔ)償裝置,用以在上述濃度測(cè)定裝置所測(cè)定的上述關(guān)鍵成分的濃度低于一定值時(shí),提供具有一補(bǔ)償量的補(bǔ)充液至上述生產(chǎn)機(jī)臺(tái)中,其中上述補(bǔ)充液含有與上述關(guān)鍵成分相同的成分。
聲明:
“制作工藝系統(tǒng)與清洗方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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