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基于Pt顆粒修飾的氧化錫/氧化鋅核殼納米片結構的氣敏納米材料、制備工藝及其應用

796 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:57:10

本發(fā)明公開了一種基于Pt顆粒修飾的氧化錫/氧化鋅核殼納米片結構的氣敏納米材料、制備工藝及其應用。本發(fā)明用化學溶液法制備氧化錫核層納米片，再結合原子層沉積技術，得到氧化錫/氧化鋅核殼結構納米片，最后采用磁控濺射生長Pt薄膜，實現(xiàn)了MEMS基原位生長。本發(fā)明制備方法具有可重復性強，成品率高，制備效率高，可規(guī)?；a(chǎn)等優(yōu)點。本發(fā)明構建的氣敏納米材料應用于氣體傳感時靈敏度大幅提升，具有高選擇性，展現(xiàn)了更加優(yōu)異的氣敏性能。本發(fā)明的氣敏納米材料能夠對部分微量氣體進行檢測，并且對硫化氫氣體具有優(yōu)異的選擇性，為氣體監(jiān)測領域開發(fā)高靈敏度、高穩(wěn)定性的氣體傳感器提供了堅實的技術支持。

聲明：

“基于Pt顆粒修飾的氧化錫/氧化鋅核殼納米片結構的氣敏納米材料、制備工藝及其應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)