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基于石墨烯片層的納機電諧振式傳感器及其制作方法

788 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:33:28

本發(fā)明公開一種基于石墨烯片層的納機電諧振式傳感器及其制作方法，P-Si襯底上設有漏極-N型摻雜區(qū)和源極-N型摻雜區(qū)，漏極-N型摻雜區(qū)上設有漏極電極，源極-N型摻雜區(qū)上設有源極電極，在P-Si襯底表面上且位于漏極-N型摻雜區(qū)和源極-N型摻雜區(qū)的正中間安置兩個SiO2錨區(qū)，石墨烯兩端固支梁的兩端分別懸于兩個SiO2錨區(qū)上，石墨烯兩端固支梁的一端上設置一個與其相連接的頂柵電極；利用梁的振動引起電場的變化來確定627諧振器的諧振頻率，能將微弱的諧振信號直接放大成可用于檢測的電壓信號，避免了外接有源電路，使電路簡化，能消除了由于寄生電容引起的低通濾波現(xiàn)象，尤其適用于超小質量的化學物質檢測。

聲明：

“基于石墨烯片層的納機電諧振式傳感器及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)