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微型化的集成微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)光學(xué)傳感器陣列

934   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:29:47
這個(gè)發(fā)明描述了一種使用傳感元件的陣列的用于致動和多路復(fù)用傳感的方法和裝置。本發(fā)明能夠用于健壯的微型化封裝中生物和化學(xué)試劑的無標(biāo)記檢測。本發(fā)明集成光子裝置、CMOS電子裝置以及微米/納米系統(tǒng)技術(shù)并且允許相同封裝中的多分析物傳感。所優(yōu)選的致動方法是使用磁薄膜并且優(yōu)選的傳感方法是使用光學(xué)的干涉裝置。
聲明:
“微型化的集成微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)光學(xué)傳感器陣列” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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