本發(fā)明提供了一種具有DLC保護膜的紅外焦平面陣列探測器的制備方法,包括以下步驟:A)將紅外焦平面陣列探測器的窗口依次采用丙酮和工作液進行清洗;B)將清洗后的紅外焦平面陣列探測器的窗口在真空條件下,通入氬氣,進行射頻等離子清洗;C)再通入碳源氣體,采用射頻等離子增強化學(xué)氣相沉積方法在紅外焦平面陣列探測器的窗口的表面沉積DLC保護膜,得到具有DLC保護膜的紅外焦平面陣列探測器;所述步驟C)的射頻功率為100~2500W,所述步驟C)的真空度為3×10
?3~3×10
?5Pa。本發(fā)明還提供了一種具有DLC保護膜的紅外焦平面陣列探測器。
聲明:
“具有DLC保護膜的紅外焦平面陣列探測器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)