本實用新型提供一種晶圓破損偵測裝置及檢測機臺,其中多片待偵測晶圓通過一卡槽固定于化學槽內(nèi),光纖收發(fā)裝置包括第一類光纖收發(fā)裝置與第二類光纖收發(fā)裝置;第一類光纖收發(fā)裝置,均布于正對待偵測晶圓的待偵測面的位置,與待偵測晶圓的邊緣設(shè)定一第一預設(shè)距離;第二類光纖收發(fā)裝置,對稱分布于待偵測晶圓的邊緣的兩側(cè),與待偵測晶圓的邊緣設(shè)定一第二預設(shè)距離;第一類光纖收發(fā)裝置為單發(fā)射裝置,第二類光纖收發(fā)裝置為發(fā)射接收裝置;控制電路包括模數(shù)轉(zhuǎn)換器與處理器。有益效果在于:通過調(diào)整光纖收發(fā)裝置的位置和組數(shù),使得晶圓在進出化學槽的過程中,能夠及時偵測出晶圓破裂的情況,并及時發(fā)出報警信息而停止工作,避免過多的晶圓受到不良影響而導致報廢。
聲明:
“晶圓破損偵測裝置及檢測機臺” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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