本實(shí)用新型涉及一種化學(xué)氣相沉積和掃描電鏡聯(lián)用設(shè)備，包括掃描電鏡樣品室外殼、掃描電鏡樣品室、電子束鏡筒、樣品臺(tái)、溫度控制器、加熱棒、熱電偶、壓差光闌和氣體注入系統(tǒng)，溫度控制器通過(guò)控制線與加熱棒和熱電偶連接，加熱棒和熱電偶均設(shè)置在樣品臺(tái)內(nèi)；壓差光闌位于電子束鏡筒出口處；氣體注入系統(tǒng)包括氣體注入系統(tǒng)外殼和氣體管道，氣體注入系統(tǒng)外殼固定在掃描電鏡樣品室外殼上，氣體管道固定在氣體注入系統(tǒng)外殼內(nèi)且兩端均穿過(guò)氣體注入系統(tǒng)外殼，氣體管道上設(shè)有流量計(jì)和針閥，氣體管道出口側(cè)延伸至樣品臺(tái)上方。該設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料生長(zhǎng)過(guò)程實(shí)時(shí)觀測(cè)其形貌變化，從而精確控制材料生長(zhǎng)和揭示材料生長(zhǎng)機(jī)理，在物理學(xué)和材料學(xué)領(lǐng)域有很大應(yīng)用前景。