Bruker Dektak Pro布魯克臺(tái)階儀

Dektak Pro? 以其多功能，使用的便捷性和在薄膜厚度、臺(tái)階高度、應(yīng)力、表面粗糙度和晶圓翹曲測(cè)量方面廣受贊許。第十一代Dektak®系統(tǒng)，具有4?重復(fù)性的表現(xiàn)，并提供200毫米平臺(tái)選項(xiàng)，在科研以及工業(yè)領(lǐng)域中可以為材料的表面形貌提供各種分析。Dektak Pro在表面測(cè)量方面設(shè)立了新的形象，是微電子技術(shù)、薄膜與涂層和生命科學(xué)應(yīng)用的理想選擇。

Dektak Pro可提供：

? 測(cè)量和分析功能，確保 每次都能獲得準(zhǔn)確、嚴(yán)謹(jǐn)?shù)臄?shù)據(jù)

? 多功能性和便捷性，精簡(jiǎn)的軟件和簡(jiǎn)便的探針更換

? 通過(guò)直驅(qū)掃描平臺(tái)和軟件進(jìn)步，減少獲得結(jié)果的時(shí)間

Dektak Pro產(chǎn)品參數(shù)

測(cè)量技術(shù)：探針輪廓測(cè)量(接觸測(cè)量)

測(cè)量功能：二維表面輪廓測(cè)量;可選三維測(cè)量

樣品視野：可選放大倍率， 0.275到2.2 mm

探針傳感器：低慣量傳感器(LIS 3)

探針壓力：1到15 mg，使用LIS 3傳感器

低作用力：N-Lite+ 精微力傳感器，0.03到15 mg(可選)

探針選項(xiàng)：

探針半徑選項(xiàng)從50 nm到25 μm;

高徑比(HAR)針尖200 μm x 20 μm;

可根據(jù)客戶要求提供定制針尖

樣品臺(tái) XY載物臺(tái)：

手動(dòng)100 mm(4")，手動(dòng)調(diào)平;

電動(dòng)150 mm(6")，手動(dòng)調(diào)平;

帶編碼器電動(dòng)200 mm(8")，手動(dòng)調(diào)平

樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái)：手動(dòng)或自動(dòng)，連續(xù)360°

減震裝置：減震裝置可用(選配)

掃描長(zhǎng)度范圍：55 mm(2");200 mm(8")具備掃描拼接能力

每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn)：可達(dá)120,000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)

樣品厚度可達(dá)：50 mm (1.95")

晶圓尺寸可達(dá)：200 mm (8")

臺(tái)階高度重復(fù)性：4 ?, 1 sigma ( ≤1 μm 標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階樣品)

垂直范圍：1 mm (0.039")

垂直分辨率：1 ? (@ 6.55 μm 范圍)

輸入電壓：100 到 240 VAC, 50 到 60 Hz

溫度范圍：工作范圍20到 25°C (68 到 77oF)

濕度范圍：≤80%, 無(wú)冷凝

系統(tǒng)尺寸與重量：

尺寸：455 mm W x 550 mm D x 370 mm H(17.9" W x 22.6" D x 14.5" H);

重量：34 kg(75 lb);

外殼尺寸：550 mm L x 585 mm W x 445 mm H(21.6" Lx 23" W x 17.5" H);

外殼重量：5.0 kg(11 lb)