本實用新型一種用于化學氣相沉積法玻璃車床的料柜,包括料柜框以及設(shè)置在料柜框內(nèi)的四氯化硅料瓶系統(tǒng)和各種氣體管道系統(tǒng),還包括快速排氣閥、加熱盤、風扇、固定架、柜溫熱電偶、管溫熱電偶、環(huán)狀加熱帶、溫控表、氣體探測器。采用夾層填充保溫棉結(jié)構(gòu),具有優(yōu)良的保溫隔熱效果,柜內(nèi)設(shè)有恒溫溫控裝置,可使柜內(nèi)空氣、各進料管路溫度和料瓶溫度保持恒定。內(nèi)柜體還設(shè)有危險氣體報警系統(tǒng),增加了內(nèi)柜體安全性。
聲明:
“用于化學氣相沉積法玻璃車床料柜” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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