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用于化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管裝置

819   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:03:20
本實(shí)用新型涉及一種用于化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管裝置,包括底座,底座具有帶螺紋的沉孔,沉孔的底部具有通孔;套管包括管體,管體的一端為帶有外螺紋的連接部,管體的另一端設(shè)置爐體連接部,爐體連接部內(nèi)螺紋孔的直徑大于管體的外徑,管體的側(cè)壁上設(shè)置有進(jìn)氣管;上氣管的一端具有外螺紋,且上氣管的管壁上設(shè)置有多個(gè)氣孔;保護(hù)管具有保護(hù)管管體和設(shè)置于保護(hù)管管體端部的卡環(huán);保護(hù)管的卡環(huán)放置在底座的沉孔內(nèi),套管套裝在保護(hù)管的保護(hù)管管體上并由連接部與沉孔螺紋連接,上氣管套裝在保護(hù)管的保護(hù)管管體上且上氣管的螺紋端插入爐體連接部內(nèi)與管體螺紋連接。本申請(qǐng)的裝置集進(jìn)氣、預(yù)熱、開孔測溫等優(yōu)點(diǎn)為一體,且便于拆卸、組裝簡單。
聲明:
“用于化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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