本發(fā)明公開了一種原位固-液相界面化學(xué)反應(yīng)的自對準(zhǔn)裝置,包括間隔層(300)、第一絕緣膜(510)、第二絕緣膜(520)以及兩側(cè)對應(yīng)密封結(jié)合的上
芯片(100)和下芯片(200);上芯片(100)具有朝向下芯片(200)凸起的凸臺(110),下芯片(200)具有朝向上芯片(100)下凹的凹槽(210);間隔層(300)夾設(shè)于凸臺(110)表面的第一絕緣膜(510)和凹槽(210)內(nèi)壁的第二絕緣膜(520)之間。該自對準(zhǔn)裝置可應(yīng)用于常規(guī)TEM樣品臺,免除了特制樣品桿的需求,大幅降低了測試成本;同時,待測液體量較少,可防止第一絕緣膜(510)和/或第二絕緣膜(520)破裂對其他部件的損壞。
聲明:
“原位固-液相界面化學(xué)反應(yīng)的自對準(zhǔn)裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)