本發(fā)明提供一種用于化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺(tái)的制造程序控制方法及其控制系統(tǒng),該方法包括:利用測(cè)量裝置獲取控片的邊緣研磨速率和中心研磨速率,并將所述控片的邊緣研磨速率和中心研磨速率傳輸至機(jī)臺(tái)自動(dòng)化系統(tǒng);機(jī)臺(tái)自動(dòng)化系統(tǒng)計(jì)算所述控片的邊緣研磨速率與中心研磨速率的差值,并將所述差值傳輸至菜單查找系統(tǒng);菜單查找系統(tǒng)根據(jù)差值查找出最佳制造程序,并將最佳制造程序傳輸至化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺(tái)。本發(fā)明根據(jù)控片的邊緣研磨速率與中心研磨速率的差值選擇出最佳制造程序,化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺(tái)可根據(jù)最佳制造程序進(jìn)行產(chǎn)品片的化學(xué)機(jī)械研磨工藝,提高了工藝穩(wěn)定性。
聲明:
“用于化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺(tái)的制造程序控制方法及其控制系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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