亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 壓電致動的化學(xué)機械拋光托盤

壓電致動的化學(xué)機械拋光托盤

1144   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:00:50
一種化學(xué)機械拋光(CMP)控制系統(tǒng)控制被拋光半導(dǎo)體晶片背面上的壓力分布。該系統(tǒng)包括CMP設(shè)備具有支承半導(dǎo)體晶片的托盤。該托盤包括多個雙功能壓電致動器。各致動器檢出全晶片上的壓力變化并且各自可控??刂破鬟B接到致動器,用以監(jiān)視所讀出的壓力變化和控制各致動器以提供全晶片上受控的壓力分布。
聲明:
“壓電致動的化學(xué)機械拋光托盤” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記