本發(fā)明提供了基于四點(diǎn)彎曲法的檢測(cè)層間粘附力的方法及用于制作檢測(cè)試片的方法,該檢測(cè)方法包括:提供待檢測(cè)試片,待檢測(cè)試片上依次形成有第一介質(zhì)膜和第二介質(zhì)膜;在第二介質(zhì)膜上形成第一溝槽,直至第一介質(zhì)膜的表面;在第一溝槽內(nèi)填充金屬,并通過(guò)化學(xué)機(jī)械平坦化使金屬的表面與第二介質(zhì)膜齊平;在第二介質(zhì)膜上生長(zhǎng)氧化物膜,并在氧化物膜上與第一溝槽對(duì)應(yīng)的位置形成第二溝槽,且第二溝槽的深度小于等于所述氧化物膜的厚度;將氧化物膜與襯底粘合,并在襯底上與第一溝槽及第二溝槽對(duì)應(yīng)的位置形成開(kāi)槽,以形成檢測(cè)試片;利用四點(diǎn)彎曲法檢測(cè)所述第一介質(zhì)膜與第二介質(zhì)膜之間的粘附力。
聲明:
“檢測(cè)層間粘附力的方法及檢測(cè)試片的制作方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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