本發(fā)明涉及用于分析氣體的方法,其中所述方法具有提供步驟、測量步驟和確定步驟。在提供步驟中氣體傳感器被提供。所述氣體傳感器具有半導(dǎo)體襯底和第一薄層離子導(dǎo)體,所述半導(dǎo)體襯底具有電路。第一薄層離子導(dǎo)體將用于參考?xì)怏w的參考空間與用于氣體的測量空間分開。第一薄層離子導(dǎo)體具有參考電極和測量電極。參考電極朝向參考空間。測量電極朝向測量空間。參考電極和測量電極與所述電路連接。在測量步驟中測量空間中的氣體的化學(xué)種類的濃度被測量。在此在參考電極和測量電極之間的電壓被量取,以便測量所述濃度。在確定步驟中氣體中的化學(xué)種類的分壓力被確定。在此,所述電壓在電路中在使用所存放的處理規(guī)則的情況下被處理,以便確定分壓力。
聲明:
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