本發(fā)明公開了一種一種基于MEMS的三軸一體化
電化學(xué)地震檢波器,包括:外殼,為正六面體;橡膠膜,分別覆蓋在所述外殼的各個(gè)表面,且分別與各面形成容納空間;第一流道、第二流道、第三流道,為互相垂直且垂直貫穿所述外殼表面的流道;敏感電極,分別置于所述第一流道、第二流道和第三流道內(nèi);電解質(zhì)溶液,分別充滿于所述第一流道、第二流道和第三流道與各所述容納空間形成的密封腔內(nèi)。本發(fā)明采用了全新的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),使其更精確保證了三個(gè)軸向間的正交性;并且不需要輔助結(jié)構(gòu),減小了檢波器的體積和重量,同時(shí)可使得在相同體積的檢波器中實(shí)現(xiàn)更長(zhǎng)長(zhǎng)度的流道,提升了檢波器的低頻性能。
聲明:
“基于MEMS的三軸一體化電化學(xué)地震檢波器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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