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基于機械密封的電化學地震檢波器及其封裝方法

728   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網  
2023-03-19 06:46:29
本發(fā)明公開了一種基于機械密封的電化學地震檢波器及其封裝方法,所述電化學地震檢波器包括:固定圈、外殼、彈性膜和電極敏感核心;所述電極敏感核心置于兩個所述外殼之間,且所述電極敏感核心與外殼之間通過柔性密封墊圈密封;所述彈性膜置于每個所述外殼與固定圈之間,以實現(xiàn)固定圈與外殼之間的密封,所述外殼與所述固定圈之間通過機械方式固定。電極敏感核心采用MEMS加工技術制造出來后,將其密封在小的密封件中,再將小的密封件密封在大的外殼中,最后用螺絲加固完成整個檢波器的封裝。所有的硬接觸面之間均放置一層軟墊,螺絲加固時,軟墊發(fā)生形變,實現(xiàn)機械密封。
聲明:
“基于機械密封的電化學地震檢波器及其封裝方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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