一種靜壓氣浮導(dǎo)軌的性能檢測裝置,通過垂直運(yùn)動架(5)、水平運(yùn)動架(11)、轉(zhuǎn)軸(6)和旋轉(zhuǎn)盤(7)調(diào)整探針I(yè)(81)、探針I(yè)I(82)和探針I(yè)II(83)與被測氣浮導(dǎo)軌(K)的位置關(guān)系,在被測氣浮導(dǎo)軌(K)的左右兩側(cè)設(shè)置檢測機(jī)構(gòu)(M),當(dāng)滑套(16)沿導(dǎo)軌(15)運(yùn)動時,測量探針I(yè)(81)、探針I(yè)I(82)和探針I(yè)II(83)與設(shè)置在滑套(16)上的標(biāo)尺(17)之間的距離,可以測得氣浮導(dǎo)軌左右兩側(cè)的直線度,上下兩側(cè)的直線度,導(dǎo)軌的滾動、俯仰及偏轉(zhuǎn)特性。
聲明:
“一種靜壓氣浮導(dǎo)軌的性能檢測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)