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一種用于半導體枚葉式清洗設備的硫酸回收利用裝置

964 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 06:11:54

本實用新型公開了一種用于半導體枚葉式清洗設備的硫酸回收利用裝置，包括第一混合液處理機構，包括儲存罐，進口端連通清洗設備的混合液體出口端，儲存罐的出口端連通清洗設備的硫酸進口端，以將經(jīng)加熱處理后的混合液補充入清洗設備內；加熱氮氣源，連通儲存罐以向儲存罐內通入熱氮氣體；廢氣流出管，連接在儲存罐的出口處。本實用新型可以將混合液進行加熱處理，利用氮氣的溫度使過氧化水分解，從而提高混合液中的硫酸濃度至需要的濃度值，再將經(jīng)過加熱處理的混合液返回到清洗機內作為補充，繼續(xù)參與晶圓的清洗過程?？梢曰厥绽昧蛩?，大大降低了廢水處理成本，簡化生產(chǎn)工藝，降低對環(huán)境的危害。同時降低了硫酸的消耗量。

聲明：

“一種用于半導體枚葉式清洗設備的硫酸回收利用裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)