本實(shí)用新型公開了一種碳化硅線切裝置,包括底座,底座頂端的兩側(cè)均設(shè)有支撐板,其中一個(gè)支撐板一側(cè)的頂部設(shè)有氣缸座,氣缸座的一端安裝有氣缸,氣缸的輸出端與固定板的一側(cè)固定連接,固定板底端開設(shè)有凹槽,凹槽頂端的內(nèi)壁設(shè)有震動(dòng)電機(jī),震動(dòng)電機(jī)的輸出端設(shè)有震蕩板,本實(shí)用新型一種碳化硅線切裝置,通過設(shè)有的氣缸帶動(dòng)固定板,從而帶動(dòng)晶棒咋切割線上來回往復(fù)運(yùn)動(dòng),因此使得切割的品質(zhì)均勻,不會(huì)有斷線的危險(xiǎn),且切割效果好;通過設(shè)有的震動(dòng)電機(jī),可以加快晶棒切割后廢屑脫離晶棒;通過在出料管口設(shè)有的超聲波發(fā)生器,利用超聲波產(chǎn)生正玄波傳遞特性,增加排削性以及切割能力,且利用介質(zhì)傳遞超聲波可避免硬件損耗與精度跑偏。
聲明:
“碳化硅線切裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)