本發(fā)明涉及一種硅片切削廢液的資源化處理方法,其步驟是:將硅片切削廢液經(jīng)過(guò)降低粘度處理后,泵入一體式膜過(guò)濾裝置,廢液中的固體物質(zhì)被截留并提濃,然后經(jīng)過(guò)離心分級(jí),重組分濃縮液經(jīng)清洗、純化、干燥,獲得磨料級(jí)碳化硅顆粒,輕組分稀溶液經(jīng)錯(cuò)流式膜過(guò)濾濃縮得到提取高純硅的原料;膜過(guò)濾滲透液經(jīng)納濾或加添加劑結(jié)合微濾或超濾除去金屬離子和色素等雜質(zhì),再脫水獲得可重復(fù)利用的切削液分散粘結(jié)劑,實(shí)現(xiàn)切削廢液中切削磨料、切削分散粘結(jié)劑和切削過(guò)程流入硅粉的全回收。該方法和現(xiàn)有工藝相比,具有工藝先進(jìn),流程短,操作簡(jiǎn)單,能耗低和回收效率高等優(yōu)點(diǎn),并易于放大,適用于工業(yè)化處理晶片切削廢液。
聲明:
“硅片切削廢液的資源化處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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